[发明专利]用于检查密封产品的泄漏的检测方法和设备有效
| 申请号： | 201380038975.7 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104541142B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | J·布努阿尔;J·帕里森;P·比诺;S·里欧弗雷;S·哈德耶-拉巴赫 | 申请（专利权）人： | 阿迪克森真空产品公司 |
| 主分类号： | G01M3/22 | 分类号： | G01M3/22;G01M3/38 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 雷明;马江立 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测试密封产品包装的泄漏的检测方法，其特征在于，该检测方法包括以下步骤：将至少一个预先在空气、氮气或氩气气氛中被密封的产品(2)安放在腔室(3)中(步骤101)；使该腔室(3)中的压力降低至小于10‑1mbar的次真空压力，同时继续在该腔室(3)中进行次真空泵浦，使该腔室中含有的气体被电离，以便经由通过发射光谱测定法或质谱分析法进行的分析来监测密封产品(2)中含有的气体容积的来自于氮气、氧气或氩气的至少一种电离气体组分的浓度在该腔室(3)中的变化(步骤102)。 | ||
| 搜索关键词： | 腔室 密封产品 氮气 检测 泄漏 发射光谱测定 方法和设备 质谱分析法 氩气 电离气体 真空泵浦 真空压力 氩气气氛 电离 密封 氧气 测试 监测 分析 检查 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试密封产品的密封性的检测方法，其特征在于，该检测方法包括以下步骤：‑将至少一个产品(2)安放在腔室(3)中(步骤101)，所述产品在没有被填充追踪气体的情况下已经预先在空气或氮气气氛中被密封，‑使该腔室(3)中的压力降低至小于10‑1mbar的高真空压力，同时继续在该腔室(3)中进行高真空泵浦，使该腔室中含有的气体被电离，以便经由通过发射光谱测定法进行的分析来监测密封产品(2)中含有的气体容积的氮气的浓度在该腔室(3)中的演变(步骤103)，其中，监测氮气的特征光谱线与代表腔室(3)中存在的气体组分的光谱中水蒸气的特征光谱线的强度的比值的演变，以及将氮气的特征光谱线和水蒸气的特征光谱线的强度的比值与针对在腔室中的压力降低期间校准的多个泄漏得到的强度的比值进行比较，从而量化泄漏。
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