[发明专利]利用等离子体用于处理物体的装置有效
| 申请号： | 201380038733.8 | 申请日： | 2013-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN104685605B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 吉勒·包洪;埃曼努埃尔·圭多蒂;扬妮克·皮尤;帕特里克·拉比松;朱利安·里查德;马尔科·塞格斯;文森特·吉罗 | 申请（专利权）人： | 等离子瑟姆有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 穆森,戚传江 |
| 地址： | 美国佛*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及利用等离子体用于处理物体(3)的系统(1)，包括包括将待处理的物体置于其上的支撑部的真空处理室(10)；至少两个子组件(21，22)，每个子组件包括至少一个能够产生等离子体的等离子体源(210，220)，并对其提供射频功率Pi和独立的流速ni的气体i。根据本发明，由一个子组件(21)产生的等离子体是部分离子化的气体，或来自由另一个子组件或多个子组件(22)产生的等离子体的不同化学性质的气体混合物。本发明还涉及采用这样的装置用于选择性处理复合物体的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 等离子体 用于 处理 物体 装置 | ||
【主权项】：
用于通过等离子体对物体进行处理的系统，所述系统包括：处理真空室(10)，包括将待处理的所述物体置于其上的支撑部；以及内子组件，包括至少三个放电室，通过第一独立射频功率Pi并通过第一独立流速ni的气体i供应所述内子组件，中间子组件，包括至少六个放电室，通过第二独立射频功率Pi并通过第二独立流速ni的气体i供应所述中间子组件，其特征在于，由所述内子组件产生的等离子体是部分离子化的气体，或来自由所述中间子组件产生的等离子体的不同化学性质的部分离子化的气体混合物，其中所述内子组件旨在处理待处理的所述物体的与所述中间子组件不同的特定区域。
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