[发明专利]衬底处理装置及器件制造方法

摘要

衬底处理装置(EX)包括投影光学系统(PL)，使从照明区域(IR)产生的反射光束(L2)向衬底投射，从而在衬底形成光罩图案的像；光分离部(10)，使朝向照明区域的照明光和从照明区域产生的成像光束中的一方通过而使另一方反射；和照明光学系统(IL)，形成一次光源像，并将来自一次光源像的照明光照射于照明区域，并且在中心线与圆筒面之间形成与一次光源像光学共轭的第1共轭面。

主权项

一种衬底处理装置，使沿着圆筒面配置的反射性的光罩图案的像在感应性衬底上投影曝光，所述圆筒面是围绕规定的中心线以规定的半径弯曲而成的，所述衬底处理装置的特征在于，包括：光罩保持部件，沿着所述圆筒面保持所述光罩图案，并能够围绕所述中心线旋转；投影光学系统，使从设定于所述光罩图案上的一部分的照明区域产生的反射光束向所述感应性衬底投射，由此在所述感应性衬底上形成所述光罩图案的一部分的像；光分离部，为了对所述照明区域进行落射照明而配置在所述投影光学系统的光路内，使朝向所述照明区域的照明光和从所述照明区域产生的反射光束中的一方通过而使另一方反射；以及照明光学系统，形成作为所述照明光的光源的一次光源像，经由所述光分离部和所述投影光学系统的一部分光路而将来自所述一次光源像的所述照明光照射于所述照明区域，并且，在所述圆筒面的周向上，在所述中心线与所述圆筒面之间形成与所述一次光源像成为光学共轭的第1共轭面。