[发明专利]有源矩阵基板、液晶显示装置和有源矩阵基板的制造方法

摘要

有源矩阵基板(100A)具备TFT(20)；与第一方向大致平行的扫描配线(11)；与正交于第一方向的第二方向大致平行的信号配线(12)；覆盖TFT的第一层间绝缘层(16)；在第一层间绝缘层上设置的下层电极(17)；在下层电极上设置的电介质层(18)和隔着电介质层与下层电极的至少一部分重叠的上层电极(19)。第一接触孔(31)包含形成于第一层间绝缘层的第一开口部(16a)；和形成于电介质层的第二开口部(18a)。第一开口部的沿着第一方向和第二方向中的一个方向的宽度小于第二开口部的沿着上述一个方向的宽度。第二开口部的轮廓的一部分位于第一开口部的轮廓的内侧，第二开口部的轮廓不是矩形状。第二开口部中的与第一开口部不重叠的部分的面积比在将第二开口部的轮廓假想成矩形状时小。

主权项

一种有源矩阵基板，其特征在于，包括：基板；由所述基板支承，具有半导体层、栅极电极、源极电极和漏极电极的薄膜晶体管；与第一方向大致平行地延伸设置，且与所述薄膜晶体管的所述栅极电极电连接的扫描配线；与正交于所述第一方向的第二方向大致平行地延伸设置，且与所述薄膜晶体管的所述源极电极电连接的信号配线；以覆盖所述薄膜晶体管的方式设置的第一层间绝缘层；设置在所述第一层间绝缘层上的下层电极；设置在所述下层电极上的电介质层；和设置在所述电介质层上，隔着所述电介质层与所述下层电极的至少一部分重叠的上层电极，在所述第一层间绝缘层和所述电介质层形成有使所述漏极电极的一部分露出的第一接触孔，该第一接触孔用于将所述上层电极与所述漏极电极电连接，所述第一接触孔包含形成于所述第一层间绝缘层的第一开口部和形成于所述电介质层的第二开口部，所述第一开口部的沿着所述第一方向和所述第二方向中的一个方向的宽度，小于所述第二开口部的沿着所述一个方向的宽度，在从所述基板的法线方向看时，所述第二开口部的轮廓的一部分位于所述第一开口部的轮廓的内侧，所述第二开口部的轮廓不是矩形状，所述第二开口部中的与所述第一开口部不重叠的部分的面积比在将所述第二开口部的轮廓假想成矩形状时小，其中，所述矩形状的沿着所述第一方向的宽度和沿着所述第二方向的宽度与所述第二开口部的轮廓相同。