[发明专利]基板处理装置、温度计测系统、处理装置的温度计测方法、输送装置以及记录介质

摘要

为了提高处理炉内的温度均热区域的测定的作业性并且提高加热器的热平坦区长度的可靠性，提供一种基板处理装置，该基板处理装置具有处理室，其对以保持于保持件上的状态被装入的基板进行处理；温度计测器，其计测上述处理室内的温度；输送装置，其至少将上述基板输送到上述保持件；以及控制器，其在计测上述处理室内的温度之前，使上述输送装置移动到预先设定的位置，在计测上述处理室内温度时，在安装有上述温度计测器的状态下使上述输送装置升降，同时获取来自上述温度计测器的温度。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，具有：处理室，其对以保持于保持件上的状态被装入的基板进行处理；温度计测器，其计测所述处理室内的温度；输送装置，其至少将所述基板输送到所述保持件；以及控制器，其在计测所述处理室内的温度之前，使所述输送装置移动至预先设定的位置，在计测所述处理室内的温度时，在安装有所述温度计测器的状态下使所述输送装置升降，同时获取来自所述温度计测器的温度。