[发明专利]悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体有效
| 申请号： | 201380026857.4 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104334675B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 岩野友洋;南久贵;阿久津利明;藤崎耕司 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02;B24B37/04;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种含有磨粒、添加剂和水的悬浮液，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50，并且，在以离心加速度1.59×105G对将所述磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液进行50分钟离心分离时获得不挥发成分含量为300ppm以上的液相。 | ||
| 搜索关键词： | 悬浮液 研磨 液套剂 基体 方法 | ||
【主权项】：
一种悬浮液，其含有磨粒和水的悬浮液，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，所述4价金属元素是从由稀土元素及锆组成的组中所选出的至少一种，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50，并且，在以离心加速度1.59×105G对将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液进行50分钟离心分离时获得不挥发成分含量为300ppm以上的液相。
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