[发明专利]分面反射镜有效
| 申请号： | 201380026836.2 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN104335096B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | S.比林;M.德冈瑟;J.万格勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B17/00 | 分类号： | G02B17/00;G02B19/00;G02B27/09;G02B27/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种投射曝光设备(1)中照明物场(5)的照明光学单元(4)，包括：具有一结构的第一分面反射镜(13)，该结构在至少一个方向上具有至少0.2mm‑1的空间频率；以及第二分面反射镜(14)，其包括多个分面(14a)，其中所述分面(14a)分别设有抑制所述第一分面反射镜(13)的结构的空间频率的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 | ||
【主权项】：
1.一种投射曝光设备(1)的照明光学单元(4)的光瞳分面反射镜(14)，包括多个光瞳分面(14a)，其中，所述光瞳分面(14a)分别设有抑制在一特定限制频率以上的空间频率的装置，其中，抑制在一特定限制频率以上的空间频率的装置涉及用于照明物场的照明辐射，其中光瞳分面(14a)仅在交叉扫描方向上具有作为目标的离焦或其中光瞳分面(14a)具有用于抑制空间频率的散射函数。
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