[发明专利]ARTMS阱中的痕量气体浓度有效
申请号: | 201380024283.7 | 申请日: | 2013-03-13 |
公开(公告)号: | CN104380099B | 公开(公告)日: | 2017-08-25 |
发明(设计)人: | G·A·布鲁克尔;T·C·斯文尼;G·J·拉斯邦 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
主分类号: | G01N27/64 | 分类号: | G01N27/64 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 陈文平 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了一种检测离子阱中特定气体种类的方法,所述特定气体种类最初为一定量的气体中第一低浓度的痕量组分,所述方法包括离子化包含所述特定气体种类的气体从而产生特定离子种类。所述方法还包括产生将所述特定离子种类限制于离子阱中的轨道的静电势。所述方法还包括用具有激发频率的AC激发源激发受限的特定离子种类、扫描AC激发源的激发频率以从所述离子阱中逐出所述特定离子种类、和检测所逐出的特定离子种类。所述方法还包括在扫描逐出所述特定气体种类的离子的激发频率之前,相对于所述第一低浓度增大所述离子阱内所述特定离子种类的浓度。 | ||
搜索关键词: | art ms 中的 痕量 气体 浓度 | ||
【主权项】:
检测离子阱中特定气体种类的方法,所述特定气体种类最初为一定量的气体中第一低浓度的痕量组分,所述方法包括:i)离子化包含所述特定气体种类的气体,由此产生特定离子种类;ii)在包括第一和第二相对镜电极及其之间的中心透镜电极的电极结构中产生将所述特定离子种类在自然振动频率下限制于所述离子阱中的轨道的静电势;iii)用具有激发频率的AC激发源激发受限的特定离子种类;iv)扫描所述AC激发源的激发频率以从所述离子阱中逐出所述特定离子种类;和v)检测所逐出的特定离子种类,所述方法还包括在扫描逐出所述特定气体种类的离子的激发频率之前,相对于所述第一低浓度增大所述离子阱内所述特定离子种类的浓度;所述方法还包括通过以下方式之一来增大特定气体种类的浓度:a)通过用非可蒸发型吸气剂选择性吸附除所述特定气体种类之外的气体种类来选择性移除除所述特定气体种类之外的气体种类;或b)用非可蒸发型吸气剂选择性吸附所述特定气体种类、然后使所述特定气体种类从所述非可蒸发型吸气剂脱附。
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