[发明专利]具有双电极的超宽带换能器有效
| 申请号： | 201380023320.2 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN104271264B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | A·哈贾蒂 | 申请（专利权）人： | 富士胶片戴麦提克斯公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 孙向民,肖冰滨 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了宽带压电微机械超声换能器(pMUT)，pMUT阵列以及具有宽带pMUT阵列的系统。例如，压电微机械超声换能器(pMUT)包括放置在衬底上的压电膜。参考电极被耦合至该膜。第一和第二驱动/感测电极被耦合至该膜以驱动或感测在膜中的第一和第二振动模式。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电极 宽带 换能器 | ||
【主权项】：
一种压电微机械超声换能器pMUT，该pMUT包括：压电膜，该压电膜被放置在衬底上；参考电极，该参考电极被耦合至所述膜；以及第一和第二驱动/感测电极，该第一和第二驱动/感测电极被耦合至所述膜以驱动或感测在所述膜中的第一振动模式和第二振动模式；其中所述压电膜具有圆形或球状或椭圆的几何结构，并且以所述膜的周长被固定至所述衬底，其中所述第一驱动/感测电极具有直径小于所述膜的直径的圆形或球状的几何结构；其中所述第一驱动/感测电极的中心部分与所述膜的中心对齐；以及其中所述第二驱动/感测电极具有中心与所述膜的中心对齐的环形的几何结构，其中所述第二驱动/感测电极的外直径小于所述膜的直径且其中所述第二驱动/感测电极的内直径大于所述第一驱动/感测电极的外直径，其中所述内直径限制所述第一驱动/感测电极的至少大多数部分。
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