[发明专利]EUV投射光刻的照明光学单元及包含该照明光学单元的光学系统

摘要

一种EUV投射光刻的照明光学系统(26)，用于将照明光(16)引导至照明场(5)，该照明场中可布置光刻掩模(7)。具有多个分面(25)的分面反射镜(19)用于将照明光(16)引导至照明场(5)。分面(25)中的每一个指定相应照明通道(27)，其引导照明光子束。正好一个照明通道(27)通过各个分面(25)引导。照明光学系统(26)设计为使得在照明光学系统(26)运行期间，在照明场(5)的每一个点处的每一个时刻，利用不同照明通道(27)引导的任意对照明光子束在时差(Δt)大于照明光(16)的相干时间τx的入射时刻照在照明场点上。结果，照明光学系统的照明场的照明质量得到改善。

主权项

1.用于EUV投射光刻的照明光学单元(4；26)，用于将照明光(16)引导至照明场(5)，光刻掩模(7)可以布置在照明场中，‑包含具有多个第一分面(25)的第一分面反射镜(19)，用于将所述照明光(16)引导至所述照明场(5)，‑其中，引导照明光部分束(16i)的一个照明通道(27i)分别由所述第一分面(25)之一预先确定，‑其中，在所述分面(25)之一上分别引导正好一个照明通道(27i)，‑其中，所述照明光学单元(4；26)实现为使得：当所述照明光学单元(4；26)运行时，同时入射在所述照明场(5)中相同点的任意对在不同照明通道(27i)上引导的照明光部分束(16i)具有相互行程时间差，该相互行程时间差大于所述照明光(16)的相干时间τκ，‑包含第二分面反射镜(20)，所述第二分面反射镜在所述照明光(16)的光路中布置在所述第一分面反射镜(19)的下游，并包含多个第二分面(28)，其中，所述第一分面和第二分面(25,28)布置为使得引导照明光部分束(16i)的一个照明通道(27)相应由第一分面(25)及相关第二分面(28)预先确定，其中，在所述分面(25,28)之一上分别引导正好一个照明通道(27)，其中，所述第一分面反射镜实现为场分面反射镜(19)，所述第二分面反射镜实现为光瞳分面反射镜(20)，其中，光瞳分面反射镜(20)布置在照明光学单元(4)的光瞳平面中，‑包含传输光学单元(21)，用于将所述场分面(25)叠加成像至所述照明场(14)中，所述传输光学单元包含所述光瞳分面反射镜(20)，所述光瞳分面反射镜(20)布置在所述场分面反射镜(19)的下游并包含多个光瞳分面(28)，用于分别反射所述照明光(16)的部分束之一，‑其中，所述照明光学单元能够布置为使得所述照明光源(2)的像到达所述光瞳分面反射镜(20)的所述光瞳分面(28)的位置处，‑其中，所述光瞳分面反射镜(20)的主反射表面(55’)从平面参考表面(55)偏离，使得各照明通道在所述光源(2)与所述照明场(5)的场点的相应一个之间分别具有不同的照明通道长度，借助所述各照明通道，所述照明光(16)的部分束能够撞击所述照明场(5)的各个场点。