[发明专利]紧凑型CO2片状激光器

摘要

紧凑型CO2片状激光器被收容在具有三个隔室(46,48,50)的流体冷却壳体(40)中。一个隔室(48)容纳放电电极(70,71)和激光器谐振器。另一隔室(48)容纳组装到流体冷却冷板(82)上的射频电源(RFPS)和阻抗匹配网络。其余隔室(50)容纳包括空间滤波器(290,340)的光束调节光学器件。壳体(40)和RFPS冷板(82)位于具有单入口(214,259)和单出口(216,272)的共同的冷却剂流体回路上。空间滤波器(290,340)任选地能够在共同的冷却剂流体回路上进行流体冷却。

主权项

CO2射频气体放电激光器装置，包括：激光器壳体，其由细长金属挤出件形成，具有至少两个隔室，所述细长金属挤出件构造为允许冷却剂流体通过其中以便冷却所述壳体；其中，所述细长金属挤出件具有第一和第二相对外壁，所述细长金属挤出件的冷却剂通道布置包括在所述壳体的所述第一相对外壁的长度内且沿着所述壳体的所述第一相对外壁的长度延伸的第一冷却剂沟道以及在所述壳体的所述第二相对外壁的长度内且沿着所述壳体的所述第二相对外壁的长度延伸的第二冷却剂沟道；第一和第二细长放电电极，其位于所述激光器壳体的第一隔室中，彼此间隔开且平行，在它们之间限定了放电间隙，所述第一细长放电电极充当带电电极，所述第二细长放电电极充当接地电极，所述第一和第二细长放电放电电极构造为容许冷却剂流体通过其中以便冷却所述第一细长放电电极和所述第二细长放电电极；第一和第二谐振器反射镜，其限定了延伸贯通所述第一和第二细长放电电极之间的放电间隙的激光器谐振器；射频电源和阻抗匹配网络，它们位于所述激光器壳体的第二隔室中，用于将射频电力供给到所述第一细长放电电极和所述第二细长放电电极，在所述放电间隙中产生射频放电，使得在所述激光器谐振器中产生激光光束并且从所述激光器谐振器输送所述激光光束，所述射频电源组装到细长金属安装板上，所述细长金属安装板构造为容许冷却剂流体通过其中以便冷却组装到其上的所述射频电源；以及用于将通过所述细长金属挤出件、所述第一细长放电电极和所述第二细长放电电极和所述射频电源的所述细长金属安装板的冷却剂流体通道组合到具有单个冷却剂流体入口和单个冷却剂流体出口的冷却剂回路中的布置。