[发明专利]感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201380017141.8 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN104204947B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 安达勲;坂口崇洋;庄田浩之 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08F220/10;C08F222/40;G02B3/00;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 田欣;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种感光性树脂组合物。一种含有(A)成分、(B)成分以及溶剂的感光性树脂组合物。(A)成分：具有下述式(1)表示的结构单元以及下述式(2)表示的结构单元的共聚物，(B)成分：感光剂， |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分、(B)成分以及溶剂，(A)成分：具有下述式(1)表示的结构单元以及下述式(2)表示的结构单元的共聚物，(B)成分：感光剂，![]()
式中，R0表示羟基或羧基，R1表示氢原子或甲基，R2表示单键或碳原子数1至5的亚烷基，R3表示具有热交联性的1价的有机基团，其中，多个上述式(2)表示的结构单元中R1彼此可以相互不同，所述具有热交联性的1价的有机基团包含环氧基。
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