[发明专利]用于计算带电粒子束的射束参数的方法、测量设备及带电粒子束装置无效
| 申请号： | 201380017026.0 | 申请日： | 2013-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN104245217A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 乌维·瑞珍;延斯·德弗里斯;亚历山大·巴克豪斯;汉斯皮特·鲍尔;塞巴斯蒂安·弗尔;贝恩德·赖兴贝格;索斯藤·施米茨肯彭 | 申请（专利权）人： | 亚琛工业大学公共权力公司;AIXACCT系统股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00;G01T1/29;H01J37/244;H01J37/31 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谢顺星;张晶 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种计算带电粒子束的射束参数的方法，一种测量装置及带电粒子束装置。通过偏转单元(3)将带电粒子束装置(1)的带电粒子束(4)引导至装备在孔隙装置(7)上的具有一个或多个狭缝孔隙(8)的狭缝孔隙机构处。确定穿过狭缝孔隙机构的电子束部分的测量面坐标。根据测量面坐标，孔隙装置自动移动，使得设置在孔隙装置中的测量孔隙(9)移动到预先确定的测量参考点上。射束参数测量需要借助测量孔隙。在适合本方法的测量装置(5)中，狭缝孔隙机构包括至少两个互不平行的狭缝孔隙部分(12、13、15、16)，这些狭缝孔隙部分可以属于单一连续的狭缝孔隙。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 计算 带电 粒子束 参数 方法 测量 设备 装置 | ||
【主权项】：
一种用于计算带电粒子束(4)射束参数的方法，包括以下步骤：a)借助偏转单元(3)将带电粒子束装置(1)的带电粒子束(4)引导至装备在孔隙装置(7)上的具有一个或多个狭缝孔隙(8)的狭缝孔隙机构处，b)借助测量面(10)确定的电子束传感器(6)确定穿过狭缝孔隙机构的电子束部分的电子束冲击位置的测量面坐标，c)将设置在孔隙装置(7)中的测量孔隙(9)自动移动到在测量面中已知的测量参考点的位置上，其中，根据已知的狭缝孔隙(8)几何形状及孔隙装置(7)上确定测量孔隙(9)移动的控制数据的测量孔隙(9)，来处理电子束冲击位置的测量面坐标，以及d)根据c)特征，将用于射束参数测量的带电粒子束(4)引导至移动的测量孔隙(9)上。
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