[发明专利]有机EL元件的制造方法及制造装置无效
| 申请号： | 201380014727.9 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN104170529A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 垣内良平;山本悟 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种不需要以往那样的带状阴影掩模、且也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上、能够修正由于输送时会产生的基材的错位所带来的影响的有机EL元件的制造方法和制造装置。有机EL元件的制造装置利用第1驱动装置使辊以规定的旋转速度旋转，而输送与辊接触的基材。该制造装置进行该输送，并且使来自蒸镀源的气化材料蒸镀到基材上。该制造装置通过利用第2驱动装置驱动遮蔽装置，使该遮蔽装置以规定的转动速度绕辊的轴心转动，进行基材的遮蔽和遮蔽解除。第2驱动装置以使遮蔽装置的转动速度与辊的旋转速度不同的方式改变遮蔽装置的转动速度。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 元件 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种有机EL元件的制造方法，其特征在于，该有机EL元件的制造方法包括如下工序：使带状的基材与辊接触，并且一边使该辊以规定的旋转速度旋转一边输送该基材；通过自蒸镀源喷出气化材料，而使上述气化材料蒸镀到上述基材的规定部位；伴随着上述辊的旋转，使用于遮蔽上述基材的遮蔽装置绕着该辊的轴心以规定的转动速度转动，由此，利用该遮蔽装置进行上述基材的遮蔽，以防止在蒸镀上述气化材料时将上述气化材料蒸镀到上述基材的除了上述规定部位以外的部位；通过使上述遮蔽装置的转动速度与上述辊的旋转速度不同，从而调整该遮蔽装置对上述基材进行遮蔽的遮蔽位置。
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