[发明专利]使用膜状模具的具有凹凸图案的光学基板的制造方法和制造装置、以及具备该光学基板的器件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201380014677.4 申请日: 2013-01-22
公开(公告)号: CN104245608B 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 鸟山重隆;西村凉;小笹直人;熊谷吉弘;高桥麻登香 申请(专利权)人: 吉坤日矿日石能源株式会社
主分类号: C03B19/02 分类号: C03B19/02;G02B5/18;H05B33/02;H05B33/10
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 代理人: 王海川,穆德骏
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种制造光学基板的方法,其包括准备长尺寸的膜状模具(80a)的工序S0;制备溶胶溶液的工序S1;在基板上形成溶胶溶液的涂膜(42)的工序S2;将所述涂膜干燥的工序S3;在将所述膜状模具送入压辊(22)的同时,利用压辊将膜状模具的图案面按压到所述干燥后的涂膜上的工序S4;将所述膜状模具从涂膜剥离的工序S5;和对转印有所述凹凸图案的涂膜进行烘烤的工序S6。
搜索关键词: 使用 模具 具有 凹凸 图案 光学 制造 方法 装置 以及 具备 器件
【主权项】:
一种制造光学基板的方法,其为制造具有凹凸图案的光学基板的方法,其特征在于,该方法包括:准备具有凹凸图案面的长尺寸的膜状模具的工序;在基板上形成溶胶凝胶材料的涂膜的工序;使所述涂膜与所述膜状模具的所述凹凸图案面相对,将压辊按压在膜状模具的与所述凹凸图案面相反侧的面上从而将所述凹凸图案面转印至所述涂膜的工序;将所述膜状模具从涂膜剥离的工序;和将转印有所述凹凸图案的涂膜固化的工序;将所述长尺寸的膜状模具从模具导出辊向所述压辊导出并移动,利用模具卷绕辊卷绕剥离后的所述长尺寸的膜状模具。
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