[发明专利]具有放电电离电流检测器的分析装置

摘要

被供给至等离子体生成部的等离子气体的流量通过流量控制器等流量控制机构来调节。从毛细管的顶端喷出的试样气体的流量由通过流量控制器等流量控制机构调节的载气流量来决定。流量控制机构通过控制部来控制。控制部具有用于控制流量控制机构的气体流量设定单元。气体流量设定单元构成为，基于被保持于流量设定条件保持部的流量设定条件，按照由测定试样决定的载气的流量来设定等离子气体的流量。

主权项

一种分析装置，其特征在于，包括：放电电离电流检测器，所述放电电离电流检测器具有：等离子体生成部、试样电离部以及试样离子检测部，所述等离子体生成部通过对安装于电介质管的外周的多个电极间施加高压交流电压而使电介质阻挡放电发生，所述试样电离部被配置在所述电介质管的一端侧，并通过在所述等离子体生成部的放电时发出的激发光对试样进行电离，所述试样离子检测部将由所述试样电离部电离后试样作为电流进行检测；等离子气体供给部，所述等离子气体供给部能够可变地调节等离子气体的流量地从所述电介质管的另一端侧供给等离子气体；试样气体供给部，所述试样气体供给部从所述电介质管的相反侧向所述试样电离部供给试样气体；流量设定条件保持部，所述流量设定条件保持部将来自所述试样气体供给部的试样气体供给流量与相对于该供给流量应该设定的等离子气体的供给流量的关系作为流量设定条件进行保持；气体流量设定单元，所述气体流量设定单元构成为，基于被保持于所述流量设定条件保持部的流量设定条件，将来自所述等离子气体供给部的等离子气体供给流量设定为与试样气体供给流量相应的流量。