[发明专利]三氯甲硅烷生产无效
申请号: | 201380013989.3 | 申请日: | 2013-03-13 |
公开(公告)号: | CN104203821A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 马克·威廉·达塞尔 | 申请(专利权)人: | 森特瑟姆光伏美国有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;B01J19/24;B01J7/00 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;阴亮 |
地址: | 美国华*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 方法,其包括在包括250-400℃的温度和2-33barg的压力的反应条件下,在反应器中将氯化氢、冶金级硅和诸如四氯化硅的第三气体结合足够的时间以将冶金级硅转化为包含三氯甲硅烷的排出气。 | ||
搜索关键词: | 三氯甲 硅烷 生产 | ||
【主权项】:
方法,其包括在包括250‑400℃的温度和2‑33barg的压力的反应条件下,在反应器中将氯化氢、冶金级硅以及选自四氯化硅、三氯甲硅烷、二氯甲硅烷和氢气的第三物质(M3)结合足够的时间以将冶金级硅转化为包含三氯甲硅烷的排出气。
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