[发明专利]具有充电电压源的电容微机械超声换能器设备有效
| 申请号： | 201380013597.7 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN104160250B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | G·A·布罗克-费希尔 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06;G01N29/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 刘瑜,王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于发射和/或接收超声波的电容微机械超声换能器(CMUT)设备(1)，其包括至少一个CMUT单元(10)。所述CMUT单元(10)包括包括第一电极(22)的衬底(13)，包括第二电极(20)的膜(15)，在所述第一电极(22)与所述第二电极(20)之间的至少一个介电层(21、23)，以及形成在所述衬底(13)与所述膜(15)之间的腔(18)。所述CMUT设备(1)还包括工作偏压源(25)，其用于在发射和/或接收超声波期间，在所述第一电极(22)与所述第二电极(20)之间供应第一极性的工作偏压(VB)；以及充电电压源(30)，其用于在所述第一电极(22)与所述第二电极(20)之间供应额外的充电电压(VC)，第二极性为所述第一极性的反极性。本发明还涉及一种操作这样的CMUT设备的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 充电 电压 电容 微机 超声 换能器 设备 | ||
【主权项】：
一种用于发射和/或接收超声波的电容微机械超声换能器(CMUT)设备(1)，包括：至少一个CMUT单元(10)，其包括：包括第一电极(22)的衬底(13)、包括第二电极(20)的膜(15)、在所述第一电极(22)与所述第二电极(20)之间的至少一个介电层(21、23)、以及形成在所述衬底(13)与所述膜(15)之间的腔(18)，所述CMUT设备(1)还包括：工作偏压源(25)，其用于在发射和/或接收超声波期间，在所述第一电极(22)与所述第二电极(20)之间供应第一极性的工作偏压(VB)，充电电压源(30)，其用于在发射和/或接收超声波之前在所述第一电极(22)与所述第二电极(20)之间供应第二极性的额外的充电电压(VC)，所述第二极性为所述第一极性的反极性，以及控制单元(40)，其用于控制所述充电电压源(30)，以控制所述至少一个介电层(21、23)中的电荷，其中，所述控制单元适于控制所述充电电压源，以在足够长的时间段内供应所述充电电压，从而使所述至少一个介电层(21、23)充电来增加所述CMUT单元的输出压力和/或接收灵敏度。
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