[发明专利]激光振荡装置

摘要

本发明的激光振荡装置，在使激光振荡装置从停止状态启动时，使气体循环通路以及光谐振器的内部的滞留气体从通过气体压力控制器而打开的气体排出用阀排出。在打开时间运算器根据之前紧接的激光振荡装置的停止时间而算出的时间的期间，介由通过气体压力控制器打开的气体提供阀，将激光媒质气体提供器与气体提供用阀之间的配管内的激光媒质气体和滞留气体一起排出。由此，能降低使用阀数、削减成本，进而能抑制激光媒质气体的消耗。

主权项

一种激光振荡装置，从外部连续或间歇地提供激光媒质气体，该激光振荡装置具备：光谐振器；气体循环通路，其与所述光谐振器连接；激光媒质气体提供器，其介由气体提供用阀，向所述气体循环通路或所述光谐振器提供激光媒质气体；气体排出用泵，其介由气体排出用阀，将激光媒质气体从所述气体循环通路或所述光谐振器排出；气体压力检测器，其检测所述气体循环通路或所述光谐振器内的激光媒质气体的气体压力；气体压力控制器，其根据由所述气体压力检测器检测到的气体压力来控制所述气体提供用阀和所述气体排出用阀；鼓风机，其设置于所述气体循环通路中；电流检测器，其检测所述鼓风机的鼓风机驱动电流；停止时间计数器，其对激光振荡装置停止的停止时间进行计数；存储器，其存储所述停止时间与所述鼓风机驱动电流的相关信息；和打开时间运算器，其根据所述存储器的信息来运算激光振荡装置启动时的所述气体提供用阀的打开时间，在使激光振荡装置从停止状态启动时，使所述气体循环通路以及所述光谐振器的内部的滞留气体从通过所述气体压力控制器而打开的所述气体排出用阀排出，在由所述打开时间运算器根据之前紧接的激光振荡装置的停止时间而算出的时间的期间，介由通过所述气体压力控制器而打开的所述气体提供用阀，将所述激光媒质气体提供器与所述气体提供用阀之间的配管内的激光媒质气体和所述滞留气体一起排出。