[发明专利]氮化硅烧结体及其制造方法无效
| 申请号: | 201380003146.5 | 申请日: | 2013-01-25 |
| 公开(公告)号: | CN103813997A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
| 发明(设计)人: | 有马峻;松村保范;梶野仁 | 申请(专利权)人: | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 张楠;陈建全 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明的氮化硅烧结体具有实质上无取向的晶体,热传导系数为100W/mK以上,而且按照JIS R1601测定的常温三点弯曲强度为500MPa以上。该烧结体可以通过具备以下工序的方法来合适地制造:将含有氮化硅粉末的原料粉末在1400~1750℃之间的恒定温度下保持1~100小时的老化工序;从老化工序中的温度以1~100℃/h的升温速度进行升温的升温工序;以及在1800~2000℃之间的恒定温度下烧成30~60小时的烧成工序。 | ||
| 搜索关键词: | 氮化 烧结 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种氮化硅烧结体,其特征在于,氮化硅的晶体实质上无取向,热传导系数为100W/mK以上,而且按照JIS R1601测定的常温三点弯曲强度为500MPa以上。
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