[发明专利]从衬底去除物质的方法和组合物

摘要

描述可用于从衬底，例如光致抗蚀剂晶圆去除有机和有机金属物质的组合物。方法呈现为将最小体积的组合物以涂层形式施加于无机衬底，其中施加充分的热量，以及通过冲洗完全去除有机或有机金属物质。该组合物和方法可适用于从电子设备去除，以及在一些情况下，完全溶解正性和负性类型的光致抗蚀剂，和特别是负性干燥膜光致抗蚀剂。

主权项

1.一种组合物，其包含：70 wt%至90 wt%的并非二甲基亚砜的极性非质子溶剂；1 wt%至低于10 wt%的至少一种烷醇胺；低于3 wt%的氢氧化季铵；低于5 wt%的水；和2 wt%至35 wt%的辅助溶剂，其选自乙二醇，二乙二醇，丙二醇，二丙二醇，异丙二醇，二异丙二醇，丁二醇，二丁二醇，乙二醇单甲醚，乙二醇单乙醚，乙二醇单丙醚，乙二醇单丁醚，乙二醇二甲醚，乙二醇二乙醚，乙二醇二丙醚，乙二醇二丁醚，二乙二醇单甲醚，二乙二醇单乙醚，二乙二醇单丙醚，二乙二醇单异丙醚，二乙二醇单丁醚，二乙二醇单异丁醚，二乙二醇单苯甲醚，二乙二醇二乙醚，三乙二醇单甲醚，三乙二醇二甲醚，聚乙二醇单甲醚，二乙二醇甲基乙醚，三乙二醇，乙二醇单甲醚乙酸酯，乙二醇单乙醚乙酸酯，丙二醇单甲醚，丙二醇二甲醚，丙二醇单丁醚，二丙二醇单甲醚，二丙二醇单丙醚，二丙二醇单异丙醚，二丙二醇单丁醚，二丙二醇二甲醚，二丙二醇二丙醚，二丙二醇二异丙醚，三丙二醇和三丙二醇单甲醚，1‑甲氧基‑2‑丁醇，2‑甲氧基‑1‑丁醇，2‑甲氧基‑2‑甲基‑2‑丁醇，二氧杂环己烷，三氧杂环己烷，1,1‑二甲氧基乙烷，四氢呋喃或冠醚。