[发明专利]传感装置、制造方法和检测装置

摘要

本发明涉及一种传感装置（1），尤其是用于3D相机传感器的飞行时间（ToF）和/或CCD传感装置，所述传感装置包括至少一个模拟和一个数字电路组件，以及用于将所述模拟电路组件的模拟信号转换为所述数字电路组件（2）的数字信号以及执行逆转换的一个A‑D转换器（8），其中所述模拟电路组件和所述数字电路组件分别包括至少一个用于以电子方式实现功能的模块，以及其中所述模拟电路组件的所述模块之一被设计为用于检测光辐射的传感单元（3），所述数字电路组件的所述模块之一被设计为用于处理数字信号的信号处理单元。为了促进到基于应用的传感单元的改进型集成，包括所述A‑D转换器的电路组件作为集成电路集成在芯片中，并且所述芯片被使用1‑poly技术制造为半导体结构。

主权项

传感装置(1，11)，所述传感装置包括至少一个模拟和一个数字电路组件，以及用于将所述模拟电路组件的模拟信号转换为所述数字电路组件(2)的数字信号以及将所述数字电路组件(2)的数字信号转换为所述模拟电路组件的模拟信号的模拟/数字转换器(8)，其中所述模拟电路组件和所述数字电路组件分别包括至少一个用于以电子方式实现功能的模块，以及其中所述模拟电路组件的所述模块之一体现为用于检测电磁辐射的传感器件(3)，所述数字电路组件的所述模块之一体现为用于处理数字信号的信号处理设备，所述传感装置的特征在于包括所述模拟/数字转换器的电路组件作为集成电路集成在芯片中，并且所述芯片被使用1‑poly技术制造为半导体结构。