[实用新型]湿法刻蚀绝缘清洗槽改造装置有效
| 申请号： | 201320883971.6 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203760433U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 杨洪军;宋道新;万福旺;张振兴 | 申请（专利权）人： | 山东天信光伏新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 东营双桥专利代理有限责任公司 37107 | 代理人： | 罗文远 |
| 地址： | 257091 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种湿法刻蚀装置，特别涉及一种湿法刻蚀绝缘清洗槽改造装置。其技术方案是：包括大槽体、小槽体底部、循环泵、循环管、小槽体、PVDF板材、渗漏孔，所述的大槽体内通过PVDF板材围成小槽体，所述的小槽体通过两根循环管、循环泵与大槽体连通，所述的小槽体下端的小槽体底部设有多个渗漏孔。有益效果是：改装后，2#的药液由原来的完全浸过药液改为药液接触滚轮，靠滚轮带液于硅片下表面和四周反应，去除下表面及四周磷硅玻璃，上表面的磷硅玻璃未去除，对于硅片表面也起到一个防护作用，稳定了硅片的方阻；能够很好的进行控制，保证了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法 刻蚀 绝缘 清洗 改造 装置 | ||
【主权项】：
一种湿法刻蚀绝缘清洗槽改造装置，其特征是：包括大槽体（1）、小槽体底部（2）、循环泵（3）、循环管（4）、小槽体（5）、PVDF板材（7）、渗漏孔（8），所述的大槽体（1）内通过PVDF板材（7）围成小槽体（5），所述的小槽体（5）通过两根循环管（4）、循环泵（3）与大槽体（1）连通，所述的小槽体（5）下端的小槽体底部（2）设有多个渗漏孔（8）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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