[实用新型]喷洒设备有效
| 申请号： | 201320881979.9 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN203695308U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 余丞博;张启民 | 申请（专利权）人： | 欣兴电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;李静 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种喷洒设备，包含一传输装置以及多个喷嘴，传输装置包含一夹具；多个喷嘴配置于对立设置的两块喷嘴板上，且使喷嘴互相面对，每一个喷嘴喷洒出粒径小于30微米的一液体，其中夹具夹持一基板，通过传输装置将基板传送经过两块喷嘴板之间。本实用新型利用夹具夹持基板，并通过传输装置将基板传送经过两块喷嘴板之间，再由喷嘴以低压喷洒出微小粒径的液体，可进行微小线路的蚀刻作业以及高均匀性的蚀刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 喷洒 设备 | ||
【主权项】：
一种喷洒设备，其特征在于，所述喷洒设备包含：一传输装置，所述传输装置包含一夹具；以及多个喷嘴，配置于对立设置的两块喷嘴板上，且分别配置于所述两块喷嘴板上的所述喷嘴互相面对，每一个所述喷嘴能喷洒粒径小于30微米的液体；其中，所述夹具夹持一基板，通过所述传输装置将所述基板传送经过所述两块喷嘴板之间。
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