[实用新型]一种导模法生产蓝宝石单晶热场有效
申请号: | 201320872381.3 | 申请日: | 2013-12-27 |
公开(公告)号: | CN203795018U | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 于海群;钱梅仙;汪传勇 | 申请(专利权)人: | 江苏苏博瑞光电设备科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/34;C30B15/14 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 221200 江苏省徐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种导模法生产蓝宝石单晶热场,其特征在于:所述热场由不锈钢筒体1、保温装置、圆筒形石墨加热器12、坩埚8、长晶模具14、模具固定板6、籽晶引送装置、导流装置组成;上述各装置采用可拆卸方式连接。本实用新型的热场设计均采用模块化,结构简单、易于拆装;侧壁开窗,采用CCD视频成像监控系统,易于实时监测晶体生长过程;本热场经过试验验证,保温性能较好,温度的反应时间能较好的达到长晶需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 导模法 生产 蓝宝石 单晶热场 | ||
【主权项】:
一种导模法生产蓝宝石单晶热场,其特征在于:所述热场由不锈钢筒体(1)、保温装置、圆筒形石墨加热器(12)、坩埚(8)、长晶模具(14)、模具固定板(6)、籽晶引送装置、导流装置组成;上述各装置采用可拆卸方式连接;所述保温装置位于不锈钢筒体(1)下部,所述保温装置由侧保温毡(13)、上保温毡(5)、底保温毡(11)构成;侧保温毡(13)由石墨桶及捆绑在石墨桶上的与石墨桶等高的石墨软毡构成,所述上保温毡(5)、底保温毡(11)由石墨板构建成的圆筒形石墨盒并在石墨盒内部填充石墨硬毡构成,所述上保温毡(5)位于侧保温毡(13)上部,所述底保温毡(11)位于侧保温毡(13)的石墨桶的桶底上;在所述保温装置内设有圆筒形石墨加热器(12),在所述圆筒形石墨加热器(12)内设有坩埚(8);长晶模具(14)由模具固定板(6)固定于坩埚(8)内;所述导流装置由圆环形导流筒(3)和位于圆环形导流筒(3)内壁的圆形水冷杆钼隔热屏(15)构成,所述圆形水冷杆钼隔热屏(15)中部开孔,所述导流装置位于上保温毡(5)上;所述籽晶引送装置由水冷杆(16)、钼夹头(2)和籽晶(4)构成,所述钼夹头(2)与水冷杆(16)连接,所述钼夹头(2)捆绑籽晶(4),所述籽晶(4)和所述钼夹头(2)的一部分位于所述导流装置内。
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