[实用新型]一种高效选择性发射极太阳电池激光掺杂掩膜板有效
| 申请号: | 201320868161.3 | 申请日: | 2013-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN203674244U | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
| 发明(设计)人: | 王雪;秦应雄;张洋;余建堤;谈贤杰;周日发 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学温州先进制造技术研究院 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人: | 李雪芳 |
| 地址: | 325003 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种高效选择性发射极太阳电池激光掺杂掩膜板,包括一框架,以及平行固定在框架内的若干个三棱柱体,所述三棱柱体的底面为等腰三角形,每个三棱柱体的侧表面均为聚光面,所述聚光面上镀有一层反射膜。与现有技术相比,本实用新型更加充分的利用激光能量,既能避免蓝光响应降低,又可以避免PN结局部击穿,在提高激光掺杂效率的同时也提高了掺杂深度的均匀性,减少了因为局部掺杂导致的电池形变不均匀。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 高效 选择性 发射极 太阳电池 激光 掺杂 掩膜板 | ||
【主权项】:
一种高效选择性发射极太阳电池激光掺杂掩膜板,其特征在于,包括一框架,以及平行固定在框架内的若干个三棱柱体,所述三棱柱体的底面为等腰三角形,每个三棱柱体的侧表面均为聚光面,所述聚光面上镀有一层反射膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





