[实用新型]一种蓝宝石单晶生长炉炉体冷却系统

摘要

本实用新型公开了一种蓝宝石单晶生长炉炉体冷却系统，包括炉体和炉膛，所述炉体上部设置有炉盖Ⅰ和炉盖Ⅱ，所述炉体由隔板Ⅰ均匀分为至少四个腔体，每个腔体上设置有进水口Ⅰ和出水口Ⅰ；所述炉盖Ⅰ内由隔板Ⅱ分为两部分，所述隔板Ⅱ两侧设置有进水口Ⅱ和出水口Ⅱ；所述炉盖Ⅱ为中空，所述炉盖Ⅱ上设置有进水口Ⅲ和出水口Ⅲ；所述炉盖Ⅱ上设置有观察口Ⅰ和观察口Ⅱ。本实用新型结构简单、方便实用，通过调节进出水口处的冷却循环水的流速来调控温场，避免了温场分布不均匀出现的蓝宝石单晶粘锅现象，从而生长出高质量的蓝宝石单晶，提高了晶体的合格率，降低了生产成本。

主权项

一种蓝宝石单晶生长炉炉体冷却系统，包括炉体（2）和炉膛（8），其特征在于：所述炉体（2）上部设置有炉盖Ⅰ（4）和与炉盖Ⅰ（4）相配合的炉盖Ⅱ（5），所述炉体（2）由隔板Ⅰ（15）均匀分为至少四个腔体（9），每个腔体（9）的下端设置有一个进水口Ⅰ（3），上端设置一个出水口Ⅰ（1）；所述炉盖Ⅰ（4）内由隔板Ⅱ（10）分为两部分，所述隔板Ⅱ（10）两侧设置有进水口Ⅱ（11）和出水口Ⅱ（12）。