[实用新型]真空气管防止积膜保护罩有效
| 申请号： | 201320846852.3 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN203890433U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;陈诚;王晓东;邵帅 | 申请（专利权）人： | 安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 王琪 |
| 地址： | 233010 安徽省蚌*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型给出了一种真空气管防止积膜保护罩，包括后端开口的罩体，罩体表面开有若干个输气孔。在镀膜生产中，将本真空气管防止积膜保护罩套在真空气管外侧，工件受到溅射时，逃逸的金属离子会溅射至伏到本真空气管防止积膜保护罩上，逃逸的金属离子不会直接与真空气管接触，长时间使用后，金属离子会造成输气孔堵塞，只需清除本输气孔内的积膜，便可以继续使用，不用拆除拆下真空气管清理，达到清理方便的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 气管 防止 积膜保 护罩 | ||
【主权项】：
一种真空气管防止积膜保护罩，其特征为：它包括后端开口的罩体，罩体表面开有若干个输气孔；所述的罩体左、右端面分别开有螺纹孔，顶丝螺栓穿过螺纹孔伸入罩体内；所述的若干个输气孔分别分布在前端面两侧端部。
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