[实用新型]一种电感耦合等离子体源

摘要

本实用新型公开了一种电感耦合等离子体源，包括源室，所述源室一侧的盖板与法兰固定连接；所述法兰外表面固定有多块磁极交错排列的永磁铁；所述盖板远离所述法兰的一面固定有平面环形电感耦合线圈；所述盖板远离所述法兰的一侧固定有防护罩；所述防护罩一侧与固定在所述源室内的匹配器固定连接；所述平面环形电感耦合线圈中心端通过导电带与所述匹配器的射频输出端电连接，所述平面环形电感耦合线圈另一端与所述匹配器金属外壳固定连接。本实用新型可以大大提高等离子体密度和均匀性，进而提高等离子体加工速率和均匀性，相应地提高了加工成品率和产能。

主权项

一种电感耦合等离子体源，包括源室（10），所述源室（10）一侧的盖板（7）与法兰（9）固定连接；其特征在于，所述法兰（9）外表面固定有多块磁极交错排列的永磁铁（8）；所述盖板（7）远离所述法兰（9）的一面固定有平面环形电感耦合线圈（5）；所述盖板（7）远离所述法兰（9）的一侧固定有防护罩（13）；所述防护罩（13）一侧与固定在所述源室（10）内的匹配器（14）固定连接；所述平面环形电感耦合线圈（5）中心端通过导电带（3）与所述匹配器（14）的射频输出端电连接，所述平面环形电感耦合线圈（5）另一端与所述匹配器（14）金属外壳固定连接。