[实用新型]一种耐高温电子器件元件有效

专利信息
申请号: 201320834469.6 申请日: 2013-12-17
公开(公告)号: CN203631550U 公开(公告)日: 2014-06-04
发明(设计)人: 李康;王刚 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 许德山
地址: 250012 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及一种耐高温电子器件元件,尤其涉及一种石油测井井下钻具电路中电子器件所使用的元件,该电子器件元件的结构包括衬底层、绝缘埋层、导体层和电极,其中,绝缘埋层设置在衬底层的上表面,导体层设置在绝缘埋层的上表面,电极设置在导体层的上表面,所述衬底层为Si层,所述绝缘埋层为AlN层,所述导体层为SiC层,所述电极为钨极。采用SiCOI(绝缘衬底上的碳化硅)制作的耐高温电子器件元件,可以有效避免漏电流的增加、阻断闩锁效应的发生并且阈值电压在高温下更稳定,适合石油测井井下钻具在高温环境下电子器件元件的选择。
搜索关键词: 一种 耐高温 电子器件 元件
【主权项】:
一种耐高温电子器件元件,其特征在于,该电子器件元件的结构包括衬底层、绝缘埋层、导体层和电极;其中,所述绝缘埋层设置在衬底层的上表面,所述导体层设置在绝缘埋层的上表面,所述电极设置在导体层的上表面;所述衬底层为Si层,所述绝缘埋层为AlN层,所述导体层为SiC层,所述电极为钨极。
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