[实用新型]一种旋转门阀有效
| 申请号： | 201320829161.2 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203700508U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;F16K31/12 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 411101 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转门阀，包括：一门阀组件和一驱动组件，驱动组件与门阀组件一端连接，门阀组件包括一门阀、一旋转轴和至少一个门阀连接件，门阀连接件连接门阀和旋转轴；驱动组件包括一气缸和一驱动器，驱动器连接气缸和旋转轴，驱动器进一步包括一第一驱动轴、一第二驱动轴和一驱动轴套，第一驱动轴与气缸连接，第二驱动轴与旋转轴连接，第一驱动轴和第二驱动轴安装在驱动轴套内。与现有技术相比，该旋转门阀安装在镀膜流水线的进口和出口，通过气缸驱动，节约人力物力，动作灵敏，使门阀旋转0～95度，确保基片快速进出镀膜流水线的进口和出口，提高整个真空镀膜生产线的工作效率，因此其应用前景十分广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 门阀 | ||
【主权项】：
一种旋转门阀，其特征在于，包括： 一门阀组件，所述门阀组件包括一门阀、一旋转轴和至少一个门阀连接件，所述门阀连接件连接门阀和旋转轴；和 一驱动组件，驱动组件与门阀组件一端连接，所述驱动组件包括一气缸和一驱动器，所述驱动器进一步包括一第一驱动轴、一第二驱动轴和一驱动轴套，所述第一驱动轴与气缸连接，所述第二驱动轴与旋转轴连接，所述第一驱动轴和第二驱动轴安装在驱动轴套内。
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