[实用新型]一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备

摘要

本实用新型属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备，该设备包括电子束熔炼组件和铸锭耦合组件，电子束熔炼组件包括安装于炉体内上部的水冷传输带，该水冷传输带一侧的炉体壁上设置有加料装置，该加料装置的出料口位于水冷传输带上方，该水冷传输带另一侧向下倾斜并设有导流口，该水冷传输带顶部炉体上固定安装有熔炼用电子枪和辐射用电子枪；铸锭耦合组件包括铸锭装置，铸锭装置位于水冷传输带下方，且水冷传输带的导流口位于铸锭装置的石英坩埚中心的正上方，本实用新型首次提出了电子束熔炼除氧的设备，实现了电子束除氧的效果，同时结合铸锭耦合，降低了铸锭加热原料所需的能耗，大大提高了生产效率。

主权项

一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备，包括炉体，其特征在于：炉体中设置有电子束熔炼组件和铸锭耦合组件，其中：电子束熔炼组件包括安装于炉体内上部的水冷传输带，该水冷传输带一侧的炉体壁上设置有加料装置，该加料装置的出料口位于水冷传输带上方，该水冷传输带另一侧向下倾斜并设有导流口，该水冷传输带顶部炉体上固定安装有熔炼用电子枪和辐射用电子枪；铸锭耦合组件包括铸锭装置，铸锭装置位于水冷传输带下方，且水冷传输带的导流口位于铸锭装置的石英坩埚中心的正上方。