[实用新型]一种切割中单晶硅的应急超声波清洗装置有效
申请号: | 201320722956.3 | 申请日: | 2013-11-13 |
公开(公告)号: | CN203648911U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 陈吉祥;李竞宇;张建国 | 申请(专利权)人: | 龙岩市华德光电有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 364101 福建省龙岩*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种切割中单晶硅的应急超声波清洗装置,包括控制柜、超声波发生器和清洗槽,所述的控制柜与超声波发生器连接用于控制超声波发生器,所述超声波发生器设置在清洗槽内部,所述清洗槽内具有单晶硅搁置架,所述单晶硅搁置架底部通过一个导轨与清洗槽连接,所述单晶硅搁置架可以在清洗槽内滑动,所述清洗槽底部设置有排渣孔和排水口。本实用新型大大提高了超声清洗的效果,同时可以对废水和废渣进行单独排放。解决现有超声波清洗效果不好,残渣清除不易的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 单晶硅 应急 超声波 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种切割中单晶硅的应急超声波清洗装置,其特征在于:包括控制柜、超声波发生器和清洗槽,所述的控制柜与超声波发生器连接用于控制超声波发生器,所述超声波发生器设置在清洗槽内部,所述清洗槽内具有单晶硅搁置架,所述单晶硅搁置架底部通过一个导轨与清洗槽连接,所述单晶硅搁置架可以在清洗槽内滑动,所述清洗槽底部设置有排渣孔和排水口。
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