[实用新型]晶硅片切割液混料装置

摘要

本实用新型是涉及一种晶硅片切割液混料装置。旨在解决现有技术中混合效率低，且搅拌存在死角不易清理的问题，设计一种混合效率更高的晶硅片切割液混料装置。本实用新型包括混料罐，还包括鼓气机构，所述鼓气机构包括连通于对应的气源的进气管和安装于该进气管尾端的布气管，该布气管设置于所述混料罐中，且其上设有布气微孔；所述混料罐上设有用于调节该混料罐内、外压差的放散管和安全阀。本实用新型的优点在于本装置利用压缩空气为混料动力源，避免了机械搅拌存在搅拌死角切割液混合不彻底的问题以及机械磨损引入杂质的缺陷，具有混料快速、充分、均匀的特点，能够提高切割液混料效率，保证切割液复配的混料质量。

主权项

一种晶硅片切割液混料装置，包括混料罐，其特征在于：还包括鼓气机构，所述鼓气机构包括连通于对应的气源的进气管（9）和安装于该进气管（9）尾端的布气管(15)，该布气管(15)设置于所述混料罐(10)中，且其上设有布气微孔；所述混料罐(10)上设有用于调节该混料罐(10)内、外压差的放散管（5）和安全阀（4）。