[实用新型]二维加速度微传感器有效
| 申请号： | 201320655006.3 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN203519644U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 黄友华 | 申请（专利权）人： | 成都市宏山科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种二维加速度微传感器，它包括支撑壁和十字活动极板，所述的十字活动极板的四端上均固定有弹性梁，所述的支撑壁的对应两边上均固定有两个电容极板，所述的电容极板位于两个垂直面上，四个电容极板分别位于十字活动极板与支撑壁所围成的区域内，所述的支撑壁上与弹性梁接触处均设置有加速孔。其优点是：可检测两个垂直方向的加速度。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
二维加速度微传感器，其特征在于：它包括支撑壁（1）和十字活动极板（3），所述的十字活动极板（3）的四端上均固定有弹性梁（2），所述的支撑壁（1）的对应两边上均固定有两个电容极板（4），所述的电容极板（4）位于两个垂直面上，四个电容极板（4）分别位于十字活动极板（3）与支撑壁（1）所围成的区域内，所述的支撑壁（1）上与弹性梁（2）接触处均设置有加速孔（5）。
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