[实用新型]一种带工艺保护端的子锭硅棒有效
申请号: | 201320616625.1 | 申请日: | 2013-09-30 |
公开(公告)号: | CN203530494U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 杨方;谈军;王庆峰;丁海军;陈远峰 | 申请(专利权)人: | 国电兆晶光电科技江苏有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;B28D5/04 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带工艺保护端的子锭硅棒,它由硅片切割区段和设置在硅片切割区段两端的工艺保护段组成。由于在待切片子锭硅棒的两端预留了工艺保护段,在切割过程中,位于子锭硅棒两头的工艺保护段对最外端的硅片起到保护作用,不仅避免在硅片切割过程中因子锭硅棒两端斜坡导致切割钢丝断线,而且能有效防止最外侧的硅片出现裂片、缺角、崩边等缺陷,既能保证硅棒的出片率和硅片的合格率,又能有效防止切割钢丝因受力不均而导致的断线缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 工艺 保护 子锭硅棒 | ||
【主权项】:
一种带工艺保护端的子锭硅棒,其特征是:包括硅片切割区段(11)和工艺保护段(12),在硅片切割区段(11)两端留有工艺保护段(12)。
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