[实用新型]靶材组件有效
| 申请号： | 201320616531.4 | 申请日： | 2013-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN203474886U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 种靶材组件，应用于磁控溅射，包括：靶材和背板，所述靶材和背板无间隙贴合；所述靶材由靶材坯料拼接而成，至少有两个靶材坯料的厚度不同，所述靶材包括与背板贴合的第一贴合面、与第一贴合面相对的第一表面，所述第一表面为平面；所述背板包括与所述靶材贴合的第二贴合面，与所述第二贴和面相对的第二表面，所述第二表面为平面，所述第一表面与第二表面平行。采用本实用新型的靶材组件，在制作靶材组件的过程中，可以节省靶材坯料的原料。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
【主权项】：
一种靶材组件，应用于磁控溅射，其特征在于，包括：靶材和背板，所述靶材和背板无间隙贴合；所述靶材由靶材坯料拼接而成，至少有两个靶材坯料的厚度不同，所述靶材包括与背板贴合的第一贴合面、与第一贴合面相对的第一表面，所述第一表面为平面；所述背板包括与所述靶材贴合的第二贴合面，与所述第二贴和面相对的第二表面，所述第二表面为平面，所述第一表面与第二表面平行。
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