[实用新型]一种抗大气冲击的分子泵转子有效
| 申请号： | 201320578335.2 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN203488431U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 郁晋军;董欣;于天化;刘敏强 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D29/26 | 分类号： | F04D29/26;F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京鑫浩联德专利代理事务所(普通合伙) 11380 | 代理人： | 吕爱萍 |
| 地址： | 102600 北京市大兴工*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于流体机械技术领域，尤其涉及一种用于半导体、节能灯、太阳能制造行业中用于获得真空的一种抗大气冲击的分子泵转子，包括中空的圆柱形转子主体，转子主体内部中心位置设置有转轴安装孔，其特征在于：所述的转子主体的表面上挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅；每相邻两个螺旋形沟槽之间的槽壁形成叶片；本实用新型根据气体的物理特性，牵引级沟槽与转子主体结合为一体，实现了与复合分子泵相近似的特点，既获得了高抽速，又获得了较大的压缩比，本实用新型，取消了定片、隔环，降低了设备的复杂程度，降低了成本，转子由叶片涡轮改为通槽，大幅增加了强度，使其拥有抗大气冲击的能力，另外，槽比叶片更容易加工，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抗大 冲击 分子 转子 | ||
【主权项】：
一种抗大气冲击的分子泵转子，包括中空的圆柱形转子主体，转子主体内部中心位置设置有转轴安装孔，其特征在于：所述的转子主体的表面上挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅；每相邻两个螺旋形沟槽之间的槽壁形成叶片。
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