[实用新型]一种高纯乙硅烷钢瓶清洗装置有效
申请号: | 201320559734.4 | 申请日: | 2013-09-10 |
公开(公告)号: | CN203526168U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 郑春宁;何波;徐昕 | 申请(专利权)人: | 南京亚格泰新能源材料有限公司 |
主分类号: | B08B9/28 | 分类号: | B08B9/28;B08B13/00;F26B21/00 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 顾进 |
地址: | 210047 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高纯乙硅烷钢瓶清洗装置,所述的装置包括钢瓶翻转机、储水加热器、洗涤液密封槽、高压泵和氮气瓶,其特征在于,所述的钢瓶翻转机包括两根支撑柱,所述的支撑柱上端设有钢瓶翻转结构,所述的钢瓶翻转结构包括旋转把手,旋转连杆和固定吸盘,所述的支撑柱底部设有喷嘴结构和导流孔;通过一整套装置,分别进行洗涤液冲洗、热水冲洗和氮气烘干的操作,整套装置的不同部件之间的功能衔接稳定,提高整体的清洗效果,很好地解决了钢瓶内部状况对乙硅烷气体的二次污染问题,且钢瓶翻转机与钢瓶的连接稳定,操作起来简单方便,方便对钢瓶的切换和换气,实用效果好。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 硅烷 钢瓶 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种高纯乙硅烷钢瓶清洗装置,所述的装置包括钢瓶翻转机、储水加热器、洗涤液密封槽、高压泵和氮气瓶,其特征在于,所述的钢瓶翻转机包括两根支撑柱,所述的支撑柱上端设有钢瓶翻转结构,所述的钢瓶翻转结构包括旋转把手,旋转连杆和固定吸盘,所述的支撑柱底部设有喷嘴结构和导流孔。
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