[实用新型]一种高纯乙硅烷钢瓶清洗装置有效

专利信息
申请号: 201320559734.4 申请日: 2013-09-10
公开(公告)号: CN203526168U 公开(公告)日: 2014-04-09
发明(设计)人: 郑春宁;何波;徐昕 申请(专利权)人: 南京亚格泰新能源材料有限公司
主分类号: B08B9/28 分类号: B08B9/28;B08B13/00;F26B21/00
代理公司: 南京众联专利代理有限公司 32206 代理人: 顾进
地址: 210047 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种高纯乙硅烷钢瓶清洗装置,所述的装置包括钢瓶翻转机、储水加热器、洗涤液密封槽、高压泵和氮气瓶,其特征在于,所述的钢瓶翻转机包括两根支撑柱,所述的支撑柱上端设有钢瓶翻转结构,所述的钢瓶翻转结构包括旋转把手,旋转连杆和固定吸盘,所述的支撑柱底部设有喷嘴结构和导流孔;通过一整套装置,分别进行洗涤液冲洗、热水冲洗和氮气烘干的操作,整套装置的不同部件之间的功能衔接稳定,提高整体的清洗效果,很好地解决了钢瓶内部状况对乙硅烷气体的二次污染问题,且钢瓶翻转机与钢瓶的连接稳定,操作起来简单方便,方便对钢瓶的切换和换气,实用效果好。
搜索关键词: 一种 高纯 硅烷 钢瓶 清洗 装置
【主权项】:
一种高纯乙硅烷钢瓶清洗装置,所述的装置包括钢瓶翻转机、储水加热器、洗涤液密封槽、高压泵和氮气瓶,其特征在于,所述的钢瓶翻转机包括两根支撑柱,所述的支撑柱上端设有钢瓶翻转结构,所述的钢瓶翻转结构包括旋转把手,旋转连杆和固定吸盘,所述的支撑柱底部设有喷嘴结构和导流孔。
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