[实用新型]一种热式气体质量流量传感器有效
| 申请号： | 201320553791.1 | 申请日： | 2013-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN203414125U | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 张申安;张鹄 | 申请（专利权）人： | 张申安 |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86 |
| 代理公司： | 温州瓯越专利代理有限公司 33211 | 代理人： | 张瑜生 |
| 地址： | 325000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种热式气体质量流量传感器，包括有基体，基体上形成有隔热空腔以及覆有绝缘薄膜，绝缘薄膜包括对应隔热空腔处的悬空部以及与基体附着结合的结合部，在绝缘薄膜的悬空部上设有两个加热热敏电阻，两个加热热敏电阻并列、对称布置，在绝缘薄膜的结合部上设有温度感应电阻，所述两个加热热敏电阻以及温度感应电阻的引脚经导线连接有焊盘。本实用新型具有量程大，灵敏度高、功耗低以及可判断气流方向的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 质量 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种热式气体质量流量传感器，其特征在于：包括有基体，基体上形成有隔热空腔以及覆有绝缘薄膜，绝缘薄膜包括对应隔热空腔处的悬空部以及与基体附着结合的结合部，在绝缘薄膜的悬空部上设有两个加热热敏电阻，两个加热热敏电阻并列、对称布置，在绝缘薄膜的结合部上设有温度感应电阻，所述两个加热热敏电阻以及温度感应电阻的引脚经导线连接有焊盘。
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