[实用新型]一种用于磁场单晶炉的导流筒结构

摘要

一种用于磁场单晶炉的导流筒结构，其技术方案是，所述结构包括保温盖和导流筒本体，导流筒本体为上下通透的筒状结构，特别之处是，导流筒本体侧壁由相互连接的上隔热壁和下隔热壁构成，上隔热壁为等壁厚，下隔热壁由上至下壁厚递增。本实用新型利用递进加厚的导流筒下端，压缩坩埚内熔体上部空间，一方面使导流筒与石英埚、液面间的间距缩小，使热量更多的能维持在熔硅中；另一方面，屏蔽绝大部分赴射到晶棒的热量，由于晶棒生长期间主要以传导散热为主，故增加晶棒与熔体边缘的梯度差值，进而达到改善熔硅液面径向温度梯度的目的。采用本实用新型的有益效果是：有效改善了结晶前沿的径向温度梯度，提高了晶体的电学性能参数及工艺控制成功率。

主权项

一种用于磁场单晶炉的导流筒结构，它包括保温盖（1）和导流筒本体（3），所述导流筒本体为上下通透的筒状结构，其特征在于，所述导流筒本体侧壁由相互连接的上隔热壁（3‑1）和下隔热壁（3‑2）构成，所述上隔热壁为等壁厚，所述下隔热壁由上至下壁厚递增；所述导流筒本体（3）的内壁自上至下直径由大到小递变，导流筒本体内壁的夹角为α为60‑80°，所述下隔热壁的外壁为竖直向下；所述上隔热壁壁厚为4‑8毫米，所述上隔热壁高度H1为60‑100毫米，下隔热壁高度H2为150‑250毫米。