[实用新型]多晶硅铸锭炉热场加热装置有效
| 申请号： | 201320445772.7 | 申请日： | 2013-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN203382850U | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;熊华江;刘东雷;安广野;刘燕;黄佳琪;黄凯;李左;李鹏廷;王峰 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于多晶硅铸锭领域，特别涉及多晶硅铸锭炉热场加热装置。一种多晶硅铸锭炉热场加热装置，包括石英坩埚外壁由内向外依次环绕的热电偶、侧部加热器和隔热层，其特征在于石英坩埚的上部安装有凹型加热器，凹型加热器与侧部加热器相连接。本实用新型构思独特，在多晶硅铸锭过程中，由于凹型加热器本身的凹形特点，控制顶部凹型加热器对硅液中心进行加热，使其温度接近于硅液侧部温度，从而在液相中形成正温度梯度，凸形固液界面逐渐趋于平整固液界面，铸锭出成率高，同时能够改善晶粒取向并可以大大提高铸锭效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 炉热场 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉热场加热装置，包括石英坩埚（7）外壁由内向外依次环绕的热电偶（6）、侧部加热器（5）和隔热层（4），其特征在于石英坩埚（7）的上部安装有凹型加热器（3），凹型加热器（3）与侧部加热器（5）相连接。
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