[实用新型]一种低电压二极管有效
申请号: | 201320372459.5 | 申请日: | 2013-06-26 |
公开(公告)号: | CN203367292U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 周源 | 申请(专利权)人: | 北京燕东微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L21/329 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 张雪梅 |
地址: | 100015 北京市朝阳区东直门*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种低电压二极管。该低电压二极管依次包括第一电极层;第一电极层上的硅衬底;硅衬底上第一导电类型的外延层;所述外延层中与第一导电类型相反的第二导电类型的高浓度掺杂区;所述外延层上具有暴露所述掺杂区的开口的绝缘层;位于所述掺杂区和部分绝缘层上的夹层保护层;位于所述夹层保护层上的第二电极层,其特征在于,所述夹层保护层和所述第二电极层具有完全相同的外边界。根据本实用新型制作的低电压二极管,不仅产品合格率得到显著提高,而且由于制作工艺简化,生产效能获得相应提升。 | ||
搜索关键词: | 一种 电压 二极管 | ||
【主权项】:
一种低电压二极管,依次包括 第一电极层; 第一电极层上的硅衬底; 硅衬底上第一导电类型的外延层; 所述外延层中与第一导电类型相反的第二导电类型的高浓度掺杂区; 所述外延层上具有暴露所述掺杂区的开口的绝缘层; 位于所述掺杂区和部分绝缘层上的夹层保护层; 位于所述夹层保护层上的第二电极层, 其特征在于, 所述夹层保护层和所述第二电极层具有完全相同的外边界。
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