[实用新型]一种振荡型双铱丝离子源有效
| 申请号： | 201320326111.2 | 申请日： | 2013-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN203367215U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张欣然 | 申请（专利权）人： | 合肥迪泰真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新区金桂路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种振荡型双铱丝离子源，包括反射筒以及和反射筒下端连接的可伐柱，所述反射筒内设有钼网支架，所述钼网支架设有一组铱丝，所述一组铱丝为两个铱丝，呈轴对称结构，铱丝表面涂有化合物氧化钇，所述可伐柱下端设有可伐盘，可伐柱和可伐盘之间还设有陶瓷烧结。本实用新型通过铱丝外涂氧化钇更能阻断铱丝的氧化，使得离子源灯丝的寿命更长，采用独特的双灯丝结构，如果该灯丝损毁，可以给另外一根灯丝加电，采用轴对称结构，安装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振荡 型双铱丝 离子源 | ||
【主权项】：
一种振荡型双铱丝离子源，包括反射筒(1)以及和反射筒(1)下端连接的可伐柱(3)，其特征在于，所述反射筒(1)内设有钼网支架(7)，所述钼网支架(7)设有一组铱丝(5)。
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