[实用新型]硅片鼓泡清洗装置有效
| 申请号： | 201320312692.4 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN203281546U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王帅;李立宏;段盟盟;朱玲 | 申请（专利权）人： | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 315201 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片鼓泡清洗装置，包括清洗槽、托盘、通气管、连接管、止回阀和气泵，所述清洗槽的内壁设有环形凸起，所述托盘安装在所述环形凸起上，所述通气管安装在所述清洗槽的底部，所述通气管绕成螺旋形，所述通气管的表面开设有通气孔，所述通气管的一端密封且另一端连接所述连接管，所述连接管连接所述气泵，所述止回阀串接在所述连接管上。本实用新型硅片鼓泡清洗装置，清洗效果好且效率高，减少了清洗时间，节约了水的使用量，且在清洗过程中能防止杂质进入。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片鼓泡清洗装置，其特征在于：包括清洗槽（1）、托盘（2）、通气管（5）、连接管（7）、止回阀（8）和气泵（10），所述清洗槽（1）的内壁设有环形凸起（3），所述托盘（2）安装在所述环形凸起（3）上，所述通气管（5）安装在所述清洗槽（1）的底部，所述通气管（5）绕成螺旋形，所述通气管（5）的表面开设有通气孔（6），所述通气管（5）的一端密封且另一端连接所述连接管（7），所述连接管（7）连接所述气泵（10），所述止回阀（8）串接在所述连接管（7）上。
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