[实用新型]晶圆输送机构

摘要

晶圆输送机构及使用方法，是基于对现有技术进行的一种改进。为了将原有的手动操作过程改为自动操作，减少人工操作，故增加一个自动传片机构，即无论是晶圆的放置或是取出，以及晶圆中心的调整都是通过自动控制来实现的。晶圆输送机构是在一滑台上安装一传送桨，传送桨的前端放置一晶圆存放托盘，通过控制滑台的水平移动来实现晶圆的自动传片。使用方法：将传送桨前端的半圆弧凹槽内放置一可拆卸的晶圆存放托盘，二者通过两个圆柱销固定连接。本实用新型可以很好的实现晶圆在反应腔室内的自动取放，操作简捷，运行流畅，使用性能稳定，节省人力和物力，降低产品生产成本。

主权项

一种晶圆输送机构，其特征在于：在一滑台上安装一传送桨，传送桨的前端放置一晶圆存放托盘，通过控制滑台的水平移动来带动传送桨及晶圆存放托盘一起移动来实现晶圆的自动传片，传送桨的前端设有一半圆弧的凹槽，其尺寸与托盘外缘尺寸相近，在凹槽表面按中心对称设有两个销孔，其位于同一圆周上并等间距分布，在销孔内安置有两个圆柱销。