[实用新型]有机层沉积设备、有机发光显示装置

摘要

本实用新型提供了一种有机层沉积设备、有机发光显示装置。有机层沉积设备包括输送单元、加载单元、沉积单元和卸载单元。根据本实用新型的有机层沉积设备适用于大基底的批量生产。

主权项

一种有机层沉积设备，其特征在于所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括固定基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、将其上固定有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送单元和在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；加载单元，将基底固定在传送单元上；沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的有机层沉积组件；以及卸载单元，将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开，其中，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，其中，固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离。