[实用新型]PECVD吸笔筒装置有效
| 申请号： | 201320244325.5 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN203232862U | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 吴存斌;肖列 | 申请（专利权）人： | 上饶光电高科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 334100 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种PECVD吸笔筒装置。目前，PECVD所用吸笔筒是石英材质，每次使用前都需将连体新石英吸笔分割后使用，在使用过程中会产生损耗，每只石英吸笔筒在使用一两个月后，由于磨损、破裂、堵塞等原因就要更换新吸笔杆，增加了吸笔的更换频率，增加了成本消耗。本实用新型的吸笔筒的一端与吸笔筒接头螺纹连接，吸笔筒的另一端与接头尾部螺纹连接；吸笔筒接头与吸笔出气头套接；接头尾部连接管的一端与接头尾部固定连接，接头尾部连接管的另一端插入输气管中并与之相通。本实用新型吸笔筒能够有效的减少吸笔杆在使用过程中的损耗，铝合金吸笔杆可长期使用，排除了每次更换使用时，人力切割连体石英吸笔，降低成本。易清洗，防堵塞。易拆装，防手滑。 | ||
| 搜索关键词： | pecvd 笔筒 装置 | ||
【主权项】：
PECVD吸笔筒装置，包括：吸笔出气头（1）、吸笔筒接头（2）、吸笔筒（3）、接头尾部（4）、接头尾部连接管（5）和输气管（6）；其特征在于：吸笔筒（3）的一端与吸笔筒接头（2）螺纹连接，吸笔筒（3）的另一端与接头尾部（4）螺纹连接；吸笔筒接头（2）与吸笔出气头（1）套接；接头尾部连接管（5）的一端与接头尾部（4）固定连接，接头尾部连接管（5）的另一端插入输气管（6）中并与之相通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
