[实用新型]激光器的温度控制系统

摘要

本实用新型公开了一种用于激光器的温控系统，温控系统包括放电腔的腔体温控系统、磁压缩器的水冷装置、固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道，所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器；温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度，并把温度数据传送给所述控制器，控制器产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器，流量控制器根据控制信号对冷却水流量进行自动调节，完成对所述放电腔内气体温度的控制。本实用新型能自动、精确的控制激光器各部件的温度，提高了激光器的能量转换效率、工作稳定性和使用寿命。

主权项

一种用于激光器的温控系统，所述激光器包括放电腔、磁压缩器和固体开关，所述温控系统包括所述放电腔的腔体温控系统、所述磁压缩器的水冷装置、所述固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道，其中， 所述主管道分别连接于各支管道，各支管道包括所述腔体温控系统的水冷管道、磁压缩器的水冷装置的水冷管道，以及固体开关的水冷管道；所述主管道与一水冷机进行连接，用于为整个温控系统提供冷却水。