[实用新型]一种声表面波气体传感器有效
申请号: | 201320211867.2 | 申请日: | 2013-04-24 |
公开(公告)号: | CN203191355U | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 朱小萍 | 申请(专利权)人: | 淮南联合大学 |
主分类号: | G01N29/036 | 分类号: | G01N29/036 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 232038 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种声表面波气体传感器,包括压电基片、叉指换能器、敏感薄膜组成,其特征在于,所述压电基片采用的是SNGS压电晶体,所述叉指换能器间涂有敏感薄膜。本实用新型具有低插损,高带宽、温度稳定性高、机电耦合系数高的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面波 气体 传感器 | ||
【主权项】:
一种声表面波气体传感器,包括压电基片、叉指换能器、敏感薄膜组成,其特征在于,所述压电基片为SNGS压电晶体,所述叉指换能器间涂有敏感薄膜。
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